河北小大教AFM：柔性下分讲磨擦起电阵列传感器件用于实时触觉感知成像钻研 – 质料牛

发布时间：2025-12-09 05:36:01 来源： 作者：不为人知

【布景介绍】

随着家养智能战物联网下速去世少,河北可能约莫感知种种外部物理宽慰的触觉传感器被感应是下一代智能电子的尾要配置装备部署之一。其正在智能机械人、小大下分像钻电子皮肤战人类瘦弱监测等规模患上到了普遍操做。教A讲磨件用觉感古晨电子产物中尾要传感器件工做道理是柔性基于电容式、电感式、擦起压阻式、电阵光电式等，列传料牛可是感器，那些传感器件皆需供外部电源提供电能。于实研质磨擦纳米收机电（TENG）做为新一代电子器件，时触具备设念灵便、知成老本低、河北输入功能晃动等劣面。小大下分像钻操做磨擦纳米收机电的教A讲磨件用觉感开路电压战短路电流，可能约莫真现动态历程战动态历程的柔性检测，可普遍用于人体可脱着战自驱动的传感器。古晨已经报道的触觉传感器电极图案存正在建制老本下、建制历程重大（光刻足艺或者掩膜板足艺）、需供崇下配置装备部署（如：磁控溅射）等缺陷。因此，水慢需供找到简朴、低老本、下效战快捷的足艺战格式用于构建基于磨擦起电的阵列传感器件。激光直写（LDW）足艺做为一种图案化制备工艺，可用于种种电子器件精确可编程战无掩膜的制制。由于激光光束的精确可编程战部份下温处置特色，LDW足艺可能一步分解金属或者有机非金属质料，无需掩模、真空群散战挨印且下效的构建图案化器件。操做LDW格式制备下导电性的多孔石朱烯（LIG），称为激光迷惑石朱烯(LIG)。同时，器件的物理战电教功能可能约莫经由历程激光功率、激光速率战激光情景精确调控，操做不开的图案，有利于不开器件的设念。操做激光直写足艺构建磨擦电传感器是一项具备开辟性战挑战性的钻研工做。

【功能简介】

远日，河北小大教王新传授课题组初次操做激光迷惑石朱烯为工做电极，构建了柔性下分讲磨擦起电阵列传感器件（TSA），用于行动轨迹的遁踪战人机交互。该器件具备低老本、下分讲率战中形多样化等特色。16×16个单元交织型磨擦起电阵列传感器，分讲率为8 dpi，可能约莫用于多面触摸、滑动战行动轨迹的监测。该器件正在单电极工做模式下，提醉出晃动的电教输入特色，经由6000次干戈─分足循环后，电教功能输入晃动。该器件可能约莫实用将外部物体干戈宽慰转换为电教旗帜旗号，经由历程量通讲数据会团系统真现了触觉传感的实时可视化成像。同时，乐成构建了基于磨擦纳米收机电的可脱着柔性触摸仄板，操做微型克制器战无线蓝牙模块，真现了人机交互。该工做不但为构建柔性下分讲磨擦起电阵列传感器斥天了新的足艺战格式，同时拓展了自驱动实时触觉传感成像监测战可脱着的人机交互界里等规模的操做。相闭钻研功能以“Flexible High-Resolution Triboelectric Sensor Array Based on Patterned Laser Induced Graphene for Self-Powered Real-Time Tactile Sensing”为题宣告正在国内期刊Adv. Funct. Mater.上。

【图文导读】

图一、磨擦起电阵列传感器件（TSA）的建制流程战工艺及LIG表征

（a）TSA制备流程示诡计；

（b）16×16单元的TSA真物照片，分讲率为8 dpi；

（c）16×16单元的TSA挨算示诡计；

（d）LIG的SEM图像；

（e）LIG的SEM部份放大大图像；

（f）激光功率为3 W时制备LIG的推曼光谱。

图二、TSA单元的工做机理及输入功能

（a）TSA中单个传感器单元的挨算图；

（b）TSA中单个传感器单元工做道理图；

（c）上、下层LIG电极的输入开路电压；

（d）当LIG电极半径从5 妹妹删减到4 妹妹时，传感器单元的输入开路电压；

（e）图案化LIG电极正在不开直开角度下的电阻；

（f）6000次以上干戈—分足的经暂性测试。

图三、基于图案化LIG电极的TSA道理战TSA映射图像

（a）基于TSA的触觉传感旗帜旗号记实系统道理图；

（b）多面触控模式及触控单个面输入电压示诡计；

（c）足指滑动行动轨迹中单元的滑动模式及输入电压示诡计；

（d）足斧正在16×16的TSA概况誊写字母“H” “E” “N” “U” (河北小大教的缩写)的示诡计。

（e）足斧正在TSA概况誊写字母“H” “E” “N” “U”所输入电压的两维映射图。

图四、基于图案化LIG电极人机交互界里系统的操做

（a）基于图案化LIG数字阵列触控里板无线克制电子器件系统示诡计；

（b）基于图案化LIG数字阵列的无线人机界里系统道理图；

（c）触控里板传感单元的输入电压峰值；

（d）足指触摸“5”数字传感单元时磨擦收电器件的模拟旗帜旗号输入；

（e）模拟旗帜旗号经处置电路后的数字旗帜旗号输入；

（f）由HMI系统无线克制LED的行动轨迹战开/闭启动；

（g）LED面明的放大大照片。

【小结】

本工做乐成构建了基于激光迷惑石朱烯为工做电极的柔性下分讲磨擦起电触觉阵列传感器件。起尾，基于激光直写足艺，构建了分讲率为8 dpi的柔性16×16单元的磨擦起电触觉阵列传感器件，真现了多面触摸、滑动战跟踪足指行动轨迹的自驱动、实时战可视化。钻研了基于磨擦起电触觉阵列传感器件的输入电旗帜旗号与实用干戈里积的关连、经暂性战同步性。此外，构建了一个智能无线足指克制人机界里系统，用于无线克制个人电子配置装备部署，该系统由基于LIG图案化的9位数字阵列（3×3）数字触摸里板、旗帜旗号处置战无线传输电路组成。咱们提出基于图形化激光迷惑石朱烯为工做电极的柔性下分讲自驱动触觉阵列传感器件，将为实时触觉传感成像、人机界里、牢靠识别战良多其余规模带去宏大大后劲。

文献链接：Flexible High‐Resolution Triboelectric Sensor Array Based on Patterned Laser‐Induced Graphene for Self‐Powered Real‐Time Tactile Sensing.Adv. Funct. Mater., 2021, DOI: 10.1002/adfm.202100709.

通讯做者简介

王新，专士，河北小大教，教授，尾要处置纳米能源（纳米收电）与柔性物理器件等规模的钻研。现已经主持国家做作科教基金名目3项，减进了收罗国家做作科教基金委重面名目、863用意、中科院宽峻大钻研用意战先导专项等10余项。比去多少年去共宣告SCI支录论文30余篇，收罗有ACS Nano, J. Am. Chem. Soc., Adv. Funct. Mater., Nano Energy等国内驰誉杂志, 被援用次数逾越2000余次，单篇最下援用次数逾越200次；授权收现专利4项；枯获中国科教院院少劣秀奖、教育部做作科教两等奖、中国阐收测试协会科教足艺奖一等奖战中国科教院青年坐异增长会会员，河北省物理教会理事，曾经正在好国佐治亚理工教院处置拜候钻研工做，古晨被聘为河北小大教黄河教者特聘教授。

代表性论文：

1. Wang, L., Liu, W., Yan, Z., Wang, F., Wang, X.* Stretchable and Shape‐Adaptable Triboelectric Nanogenerator Based on Biocompatible Liquid Electrolyte for Biomechanical Energy Harvesting and Wearable Human-Machine Interaction. Adv. Funct. Mater., 2021, 31, 2007221.

2.Liu, W.; Wang, X.;* Song, Y.; Cao, R.; Wang, L.; Yan, Z.; Shan, G.* Self-Powered Forest Fire Alarm System Based on Impedance Matching Effect between Triboelectric Nanogenerator and Thermosensitive Sensor. Nano Energy, 2020, 73, 104843.

3.Wang, X.; Wen, Z.; Guo, H.; Wu, C.; He, X. Lin, L.; Cao, X.; and Wang, Z.L.* Fully Packaged Blue Energy Harvester by Hybridizing a Rolling Triboelectric Nanogenerator and an Electromagnetic Generator. ACS Nano, 2016, 11369-11376.

4.Wu, C.; † Wang, X.; † Lin, L.; Guo, H.; Wang, Z.L.* Paper-Based Triboelectric Nanogenerators Made of Stretchable Interlocking Kirigami Patterns. ACS Nano, 2016, 10, 4652-4659. (†Equally contributed).

5.Wang, X.; Na, N.; Zhang, S.; Wu, Y.; Zhang, X.* Rapid Screening of Gold Catalysts by Chemiluminescence-based Array Imaging. J. Am. Chem. Soc., 2007, 129, 6062-6063.

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